針對目前勻膠機市場品牌眾多，良莠不齊現(xiàn)象，筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機技術(shù)服務(wù)的實際經(jīng)驗。幫助廣大用戶提高辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。

 

　　1、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤勻膠機圖冊差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的大部分低端勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標(biāo)定實時的轉(zhuǎn)速。

 

　　2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

 

　　真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這一點許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯(lián)動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉(zhuǎn)。

 

　　3、材質(zhì)的選擇

 

　　勻膠機對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，國產(chǎn)的大部分勻膠機采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯（特氟隆）材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。

 

　　勻膠機的特點

 

　?。?）電機勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電，電樞用運放控制調(diào)速，它比可控硅調(diào)速*，故其轉(zhuǎn)速在500-8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定

 

　?。?）本勻膠機有兩檔轉(zhuǎn)速。在啟動之后，先以低速運轉(zhuǎn)，然后自動變到高速運轉(zhuǎn)。兩檔速度及運行時間分別可調(diào)。

 

　?。?）本勻膠機采用光電檢測，數(shù)字電路測速，對電機的轉(zhuǎn)速檢測快速準(zhǔn)確。電機穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負(fù)反饋電路，使整機在高達(dá)8000rpm以上轉(zhuǎn)速時仍十分穩(wěn)定，有力的保證了勻膠質(zhì)

 

　?。?）“吸片”采用電子開關(guān)控制電磁閥完成氣路通斷，這樣適合流水線工藝，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，提率。

 

　?。?）勻膠機定時采用可調(diào)定時電路控制，面板上調(diào)節(jié)timer旋鈕即可改變勻膠時間。

 

　　（6）在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，因而勻膠機在運轉(zhuǎn)時噪音很低。

 

　　（7）電磁閥與電機運行有連鎖功能，電磁閥未動作不能啟動電機運行，本次勻勻膠機未停不能進(jìn)行下次勻膠，若運行中誤按“control”鍵也不能停止吸氣，即不會產(chǎn)生跑片。